ALD, EPI 관련에서 자주 발생하는 이슈들과 각각 원인에 대한 key parameter들을 알고 싶습니다! 장비 관련, 공정 변수 관련 다 좋습니다!! 감사합니다:)

멘티님, ALD(원자층증착)에서는 막 두께 불균일, 파티클 발생, step coverage 불량 등이 대표적 이슈이며, 주요 원인은 전구체 주입량·온도제어·chamber 상태·purge 시간 등 공정 변수와 장비 내벽 오염, 밸브 불량 때문입니다. EPI(에피택시)에서는 두께·도핑 농도 불량, slip·dislocation 등 결함, 표면 roughness 증가가 주요 문제이고, 반응가스 유량, 온도 균일성, wafer 회전 속도, 실시간 모니터링 장비 상태가 핵심 파라미터로 작용합니다. 두 공정 모두 초기 recipe 설정 정확도, 장비 정기 점검, 청정 관리가 이슈 예방의 관건입니다. 채택부탁드리며 파이팅입니다!2025-12-20T10:47:44.562Z

ALD, EPI에서 발생하는 이슈들이 궁금합니다.

답변 1

프로답변러YTN
코부사장 ∙ 채택률 87%
채택된 답변
멘티님, ALD(원자층증착)에서는 막 두께 불균일, 파티클 발생, step coverage 불량 등이 대표적 이슈이며, 주요 원인은 전구체 주입량·온도제어·chamber 상태·purge 시간 등 공정 변수와 장비 내벽 오염, 밸브 불량 때문입니다. EPI(에피택시)에서는 두께·도핑 농도 불량, slip·dislocation 등 결함, 표면 roughness 증가가 주요 문제이고, 반응가스 유량, 온도 균일성, wafer 회전 속도, 실시간 모니터링 장비 상태가 핵심 파라미터로 작용합니다. 두 공정 모두 초기 recipe 설정 정확도, 장비 정기 점검, 청정 관리가 이슈 예방의 관건입니다. 채택부탁드리며 파이팅입니다!
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2025.08.15
댓글 1
나
나만 잘되게 해주세요.
작성자
2025.08.15
와 너무 좋습니다 !! 감사합니다 !
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